1. Ufafanuzi wa Mfumo wa Gesi kwa Wingi:
Uhifadhi na udhibiti wa shinikizo la gesi zisizo na gesi Aina za gesi: Gesi zisizo na gesi za kawaida (nitrojeni, argoni, hewa iliyoshinikizwa, n.k.)
Ukubwa wa bomba: Kuanzia 1/4 (bomba la ufuatiliaji) hadi bomba kuu la inchi 12
Bidhaa kuu za mfumo ni: vali ya kiwambo/vali ya mvukuto/vali ya mpira, kiunganishi cha usafi wa hali ya juu (VCR, umbo la kulehemu), kiunganishi cha feri, vali ya kudhibiti shinikizo, kipimo cha shinikizo, n.k.
Hivi sasa, mfumo mpya pia unajumuisha mfumo maalum wa gesi, ambao hutumia mitungi ya gesi isiyohamishika au malori ya tanki kwa ajili ya kuhifadhi na kusafirisha.
2. Ufafanuzi wa Mfumo wa Utakaso:
Kuondolewa kwa uchafu kutoka kwa gesi nyingi kwa mabomba ya gesi yenye usafi wa hali ya juu
3. Makabati ya Gesi Ufafanuzi:
Toa udhibiti wa shinikizo na ufuatiliaji wa mtiririko kwa vyanzo maalum vya gesi (gesi zenye sumu, zinazowaka, zinazotenda kazi, zinazosababisha babuzi), na uwe na uwezo wa kuchukua nafasi ya mitungi ya gesi.
Mahali: Iko kwenye ghorofa ya chini ya kitambaa au ghorofa ya chini kwa ajili ya kuhifadhi gesi maalum. Chanzo: NF3, SF6, WF6, n.k.
Ukubwa wa bomba: Bomba la gesi la ndani, kwa ujumla inchi 1/4 kwa bomba la mchakato, inchi 1/4-3/8 hasa kwa bomba la kusafisha nitrojeni lenye usafi wa hali ya juu.
Bidhaa Kuu: Vali za kiwambo zenye usafi wa hali ya juu, vali za ukaguzi, vipimo vya shinikizo, vipimo vya shinikizo, viunganishi vya usafi wa hali ya juu (VCR, umbo la kulehemu) Makabati haya ya gesi kimsingi yana uwezo wa kubadili kiotomatiki kwa silinda ili kuhakikisha usambazaji endelevu wa gesi na uingizwaji salama wa silinda.
4. Ufafanuzi wa Usambazaji:
Kuunganisha chanzo cha gesi kwenye koili ya ukusanyaji wa gesi
Ukubwa wa mstari: Katika kiwanda cha chip, ukubwa wa bomba la usambazaji wa gesi kwa ujumla huanzia inchi 1/2 hadi inchi 2.
Fomu ya muunganisho: Mabomba maalum ya gesi kwa ujumla huunganishwa kwa kulehemu, bila muunganisho wowote wa kiufundi au sehemu zingine zinazosogea, haswa kwa sababu muunganisho wa kulehemu una uaminifu mkubwa wa kuziba.
Katika kiwanda cha chipsi, kuna mamia ya kilomita za mirija iliyounganishwa ili kupitisha gesi, ambayo kimsingi ina urefu wa futi 20 na imeunganishwa pamoja. Baadhi ya mikunjo ya mirija na miunganisho ya kulehemu ya mirija pia ni ya kawaida sana.
5. Kisanduku cha vali chenye kazi nyingi (Kisanduku Kinachojikunja cha Vali, VMB) Ufafanuzi:
Ni kusambaza gesi maalum kutoka chanzo cha gesi hadi ncha tofauti za vifaa.
Ukubwa wa ndani wa bomba: bomba la mchakato la inchi 1/4, na bomba la kusafisha la inchi 1/4 - 3/8. Mfumo unaweza kutumia udhibiti wa kompyuta kuhitaji vali zinazoendeshwa au hali ya gharama ya chini kwa kutumia vali za mikono.
Bidhaa za mfumo: vali/vali za kiwambo zenye usafi wa hali ya juu, vali za ukaguzi, viungo vya usafi wa hali ya juu (VCR, umbo la kulehemu kidogo), vali za kudhibiti shinikizo, vipimo vya shinikizo na vipimo vya shinikizo, n.k. Kwa usambazaji wa baadhi ya gesi zisizo na nguvu, Paneli ya Valve Manifold - VMP (diski ya vali yenye kazi nyingi) hutumika zaidi, ambayo ina uso wa diski ya gesi wazi na haihitaji muundo wa nafasi iliyofungwa na usafishaji wa ziada wa nitrojeni.
6. Sahani/sanduku la vali ya pili (Jopo la Kuunganisha Vifaa) Ufafanuzi:
Unganisha gesi inayohitajika na vifaa vya semiconductor kutoka chanzo cha gesi hadi mwisho wa kifaa na utoe udhibiti unaolingana wa shinikizo. Paneli hii ni mfumo wa kudhibiti gesi ambao uko karibu na mwisho wa kifaa kuliko VMB (sanduku la vali la kazi nyingi).
Ukubwa wa bomba la gesi: inchi 1/4 - 3/8
Ukubwa wa bomba la kioevu: 1/2 - 1 inchi
Ukubwa wa bomba la kutokwa: 1/2 - 1 inchi
Bidhaa kuu: vali ya kiwambo/valvu ya mvukuto, vali ya njia moja, vali ya kudhibiti shinikizo, kipimo cha shinikizo, kipimo cha shinikizo, kiungo chenye usafi wa hali ya juu (VCR, kulehemu kidogo), kiungo cha feri, vali ya mpira, hose, n.k.
Muda wa chapisho: Novemba-22-2024