1. Ufafanuzi wa Mfumo wa Gesi Wingi:
Uhifadhi na udhibiti wa shinikizo la gesi ajizi Aina za gesi: Gesi za ajizi za kawaida (nitrojeni, argon, hewa iliyobanwa, n.k.)
Ukubwa wa bomba: Kutoka 1/4 (bomba la ufuatiliaji) hadi bomba kuu la inchi 12
Bidhaa kuu za mfumo ni: valve ya diaphragm / mvukuto valve / valve ya mpira, kiunganishi cha usafi wa juu (VCR, fomu ya kulehemu), kiunganishi cha kivuko, valve ya kudhibiti shinikizo, kupima shinikizo, nk.
Hivi sasa, mfumo mpya pia unajumuisha mfumo maalum wa gesi, ambao hutumia mitungi ya gesi isiyobadilika au lori za tank kwa kuhifadhi na usafirishaji.
2. Ufafanuzi wa Mfumo wa Utakaso:
Uondoaji wa uchafu kutoka kwa gesi nyingi kwa mabomba ya gesi ya usafi wa juu
3. Makabati ya Gesi Ufafanuzi:
Kutoa udhibiti wa shinikizo na ufuatiliaji wa mtiririko kwa vyanzo maalum vya gesi (sumu, kuwaka, tendaji, gesi babuzi), na kuwa na uwezo wa kuchukua nafasi ya mitungi ya gesi.
Mahali: Iko kwenye sakafu ya kitambaa kidogo au ghorofa ya chini kwa ajili ya kuhifadhi gesi maalum Chanzo: NF3, SF6, WF6, nk.
Ukubwa wa bomba: Bomba la gesi la ndani, kwa ujumla inchi 1/4 kwa ajili ya mchakato wa bomba, inchi 1/4-3/8 hasa kwa ajili ya bomba la kusafisha nitrojeni.
Bidhaa kuu: Valve za diaphragm za usafi wa juu, valves za kuangalia, kupima shinikizo, kupima shinikizo, viunganisho vya usafi wa juu (VCR, fomu ya kulehemu) Makabati haya ya gesi kimsingi yana uwezo wa kubadili moja kwa moja kwa mitungi ili kuhakikisha ugavi wa gesi unaoendelea na uingizwaji salama wa mitungi.
4. Ufafanuzi wa Usambazaji:
Kuunganisha chanzo cha gesi kwenye coil ya kukusanya gesi
Ukubwa wa mstari: Katika kiwanda cha chip, ukubwa wa bomba la usambazaji wa gesi nyingi kwa ujumla huanzia inchi 1/2 hadi inchi 2.
Fomu ya uunganisho: Mabomba maalum ya gesi kwa ujumla yanaunganishwa na kulehemu, bila uhusiano wowote wa mitambo au sehemu nyingine zinazohamia, hasa kwa sababu uhusiano wa kulehemu una uaminifu mkubwa wa kuziba.
Katika kiwanda cha kutengeneza chip, kuna mamia ya kilomita za mirija iliyounganishwa kusambaza gesi, ambayo kimsingi ina urefu wa futi 20 na kuunganishwa pamoja. Baadhi ya bend za neli na viunganisho vya kulehemu vya tubular pia ni kawaida sana.
5. Sanduku la vali zenye kazi nyingi (Sanduku la Valve Manifold, VMB) Ufafanuzi:
Ni kusambaza gesi maalum kutoka kwa chanzo cha gesi hadi mwisho wa vifaa tofauti.
Ukubwa wa bomba la ndani: bomba la mchakato wa inchi 1/4, na bomba la kusafisha inchi 1/4 - 3/8. Mfumo unaweza kutumia udhibiti wa kompyuta kuhitaji vali zilizowashwa au hali za gharama ya chini na vali za mwongozo.
Bidhaa za mfumo: vali za diaphragm za usafi wa hali ya juu, vali za kuangalia, viungo vya usafi wa juu (VCR, fomu ya kulehemu ndogo), vali za kudhibiti shinikizo, vipimo vya shinikizo na kupima shinikizo, n.k. Kwa usambazaji wa baadhi ya gesi zisizo na hewa, Paneli nyingi za Valve - VMP (diski ya valve ya kazi nyingi) hutumiwa hasa, ambayo ina uso wa wazi wa gesi na hauhitaji muundo wa nafasi iliyofungwa na utakaso wa ziada wa nitrojeni.
6. Sahani/sanduku la vali ya pili (Jopo la Kuunganisha Zana) Ufafanuzi:
Unganisha gesi inayotakiwa na vifaa vya semiconductor kutoka kwa chanzo cha gesi hadi mwisho wa vifaa na upe udhibiti wa shinikizo unaofanana. Jopo hili ni mfumo wa kudhibiti gesi ambao uko karibu na mwisho wa vifaa kuliko VMB (sanduku la valve ya kazi nyingi).
Ukubwa wa bomba la gesi: 1/4 - 3/8 inchi
Ukubwa wa bomba la kioevu: 1/2 - 1 inchi
Ukubwa wa bomba la kutolea maji: 1/2 - 1 inchi
Bidhaa kuu: vali ya diaphragm/mvukuto, vali ya njia moja, vali ya kudhibiti shinikizo, kupima shinikizo, kupima shinikizo, viungo vya usafi wa hali ya juu (VCR, kulehemu kidogo), kiunganishi cha kivuko, vali ya mpira, hose, n.k.
Muda wa kutuma: Nov-22-2024